阳极腔清洁

在放置新阳极在腔室内之前,清洁会很有好处: 不仅整个生产过程更流畅,也能更快地完成换极作业.
腔室清洁设备是通过浮动装置实现的,从而防止对阴极产生损伤。它的设计时可靠的,保养简单,而且能处理热态物体。
还有一种可能就是,通过机械手来设计腔室清洁车辆。

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